Véronique Soulière, Nada Habka
Nous présentons les résultats de caractérisation de couches minces de carbure de silicium cubique SiC-3C. Les échantillons ont été élaborés sur des substrats hexagonaux de SiC-6H par la technique Vapeur-Liquide-Solid (VLS) dans un alliage silicium-germanium. Les spectres optiques obtenus à partir de trois techniques de caractérisation optique, la réflectivité micro-infrarouge, la spectroscopie micro-Raman et l’émission de photoluminescence, sont présentés. L’allure graphique des spectres de réflectivité micro-infrarouge fait apparaître la formation, lors de la croissance des échantillons, d’une couche très fortement dopée à l’interface couche/substrat. Les résultats de micro-Raman et de photoluminescence mettent en évidence une incorporation de germanium dans les couches élaborées. Les différents résultats suggèrent que le germanium du bain de croissance s’incorpore sous la forme de nanoions Si-Ge(-C).
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