北野 卓也, 鈴木 喜明
本研究では、半導体製造プロセスにおけるスリッパフ工程において、環境に優しい水プラズマを利用した新しいレジスト除去法のメカニズムを検討することを目的とする。具体的には、無酸素プラズマを生成するための特定条件下での実験を行い、様々なガス流量や温度条件を考慮してスロットチャンバーを用いた装置を設計した。この装置を用いて水プラズマアッシングを行い、反応生成物の発光状態を観測した。その結果、水プラズマによって生成された活性種がレジスト除去に寄与することが示された。また、色素増感太陽電池への適用についても評価し、デバイス性能に対する影響を整理した。水プラズマアッシングの効率や残留物の除去能力、ならびにデバイスへの影響について詳しく報告し、新しいレジスト除去技術の実用性を示すことができた。.
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title={Investigations of the Mechanism of Photo},
author={北野 卓也 and 鈴木 喜明},
year={2026},
language={en}
}TY - JOUR TI - Investigations of the Mechanism of Photo AU - 北野 卓也 AU - 鈴木 喜明 PY - 2026 LA - en ER -
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