Khouload. Bedoud, I. Rahmani
Dans ce travail, des couches minces de TiO2 ont été déposées sur des substrats en verre chauffés dans une plage de température de 200 à 450°C avec un pas de 50°C. Nous avons utilisé une cible métallique du Ti pur de 3" de diamètre et de 0,250" d'épaisseur avec une pureté de 99,99%. Le film de TiO2 a été déposé sur des substrats en verre avec une vitesse de rotation de 20tr/min, dont la distance entre le substrat et la cible a été fixée à 11cm. Les couches minces de TiO2 ont été déposées par la technique de pulvérisation. Notre travail porte sur l’étude de l’influence de la température sur les propriétés structurales de ces couches. Pour cela, nous avons utilisé la diffraction des rayons-X pour la caractérisation optique des films élaborés.
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title={Leffet Thermique sur les Couches Minces},
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Ir. Méshac KIME ILUNGA
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